ثنائي كلورو سيلان (H2SiCl2) (Dichlorosilane)، أو DCS كما هو معلوم، وعادة ما يخلط مع الأمونيا (NH3) في غرف الترسيب الكيميائي للبخار (LPCVD) لإنتاج نيتريد السيليكون في معالجة أشباه الموصلات.[1][2]
| ثنائي كلورو سيلان | |
|---|---|
 |
 |
 | |
| الاسم النظامي (IUPAC) | |
Dichlorosilane |
|
| أسماء أخرى | |
Silicic dichloride dihydride |
|
| المعرفات | |
| رقم CAS | 4109-96-0  |
| بوب كيم (PubChem) | 61330 [PubChem] 22967941 [PubChem] |
|
|
| الخواص | |
| صيغة كيميائية | H2Cl2Si |
| كتلة مولية | 101.01 غ.مول−1 |
| المظهر | Colorless gas with characteristic odor |
| نقطة الانصهار | -122 °س، 151 °ك، -188 °ف |
| نقطة الغليان | 8 °س، 281 °ك، 46 °ف |
| الذوبانية في الماء | Reacts |
| ضغط البخار | 163.6 كـبا (20 °م) |
| المخاطر | |
| صحيفة بيانات سلامة المادة | ICSC 0442 |
| فهرس المفوضية الأوروبية | Not listed |
| مخاطر | Extremely flammable gas, explosive in air |
| NFPA 704 |
4
4
2
|
| نقطة الوميض | −28 °م |
| حدود الاشتعال | 4.1–99% |
| مركبات متعلقة | |
| chlorosilanes ذات علاقة | Chlorosilane Trichlorosilane Silicon tetrachloride |
| مركبات ذات علاقة | Difluorosilane Dibromosilane ثنائي كلورو الميثان |
| في حال عدم ورود غير ذلك فإن البيانات الواردة أعلاه معطاة بالحالة القياسية (عند 25 °س و 100 كيلوباسكال) | |
عند استخدام تركيز عالي من ثنائي كلورو سيلان : أمونيا (مثلاً، 16 :1)، عادة ماينتج أفلام (طبقة رقيقة) نيتريد منخفضة الإجهاد.
وهو وسيط بين السيلان ورباعي كلوريد السيلكون.
مراجع
- Record of CAS RN 4109-96-0 in the GESTIS Substance Database from the IFA, accessed on 9 décembre 2012
- "nchem.403-comp13 - Compound Summary". PubChem Compound. USA: National Center for Biotechnology Information. 27 March 2005. Identifiers and Related Records. مؤرشف من الأصل في 10 أكتوبر 201230 نوفمبر 2011.
وصلات خارجية
- Safety data for dichlorosilane from the Chemistry Department at Oxford University.